Bezolejový vzduchový kompresor pro polovodičové laboratoře

Chcete-li zřídit spolehlivé rozvody pro přesná výzkumná zařízení, používejte čínský bezolejový vzduchový kompresor pro dodavatele Semiconductor Labs. Vysoce čistá vzduchová řešení společnosti DECHUAN využívají vícevrstvá uhlíková izolační těsnění k odstranění stopových uhlovodíků, čímž je zajištěna nedotčená kvalita plynu pro kritické leptání křemíku.

Kritické požadavky na čistotu plynu v čistých prostorách

Při výrobě polovodičů a tenkovrstvé litografii může i jediná mikroskopická kapka olejové páry přenášená vzduchovým vedením zničit celou výrobní šarži. Tento specializovaný produkt je navržen tak, aby splňoval absolutně nejvyšší standardy čistoty:

• Dodávka vzduchu třídy 0 s certifikací TÜV: Naše systémy procházejí přísným testováním při různých provozních teplotách. Nezávislá analýza potvrzuje absolutně nulové stopy oleje ve výstupním proudu vzduchu.

• Vnitřní vzduchové cesty bez koroze: Každý kus potrubí, svazek chladiče a separační matrice za kompresní komorou jsou vyrobeny z prvotřídní nerezové oceli, aby se zabránilo kontaminaci vzduchových vedení čistých prostor šupinkami rzi.

• Pokročilá integrace Elektronikon®: Integrovaná řídicí jednotka podrobně sleduje provozní metriky a je vybavena proaktivním bezpečnostním vypínáním, aby bylo zajištěno, že se do laboratorní sítě nedostane žádný nečistý vzduch.

Vysoké náklady na mikrokontaminaci v elektronice

Při výrobě polovodičových plátků může jediná kapka olejového aerosolu kontaminovat celé prostředí čistého prostoru, zničit tisíce křemíkových plátků a způsobit miliony ztracených výrobních časů. Tradiční vzduchové kompresory nemohou zaručit absolutní čistotu s nulovými uhlovodíky, která je pro tyto procesy v nanometrovém měřítku nezbytná.

Specializovaný bezolejový vzduchový kompresor pro Semiconductor Labs zaručuje čistou procesní bezpečnost:

• Certifikovaný průtok vzduchu CLASS 0: Testováno přísně TÜV v extrémních teplotních a tlakových rozsazích, aby byla zajištěna absolutní nulová přítomnost oleje.

• Vnitřní části bez pevných částic: Předchladiče z nerezové oceli a výměníky tepla s hvězdicovými žebry eliminují oxidační vločky nebo chemické uvolňování v cestě vzduchu.

• Electronic Monitoring Shield: Proaktivní alarmy údržby a automatické vypnutí při poruchách zabraňují odchylkám systému dříve, než se dostanou k nástrojům pro čisté prostory.

Parametry technické čistoty

• Jmenovitý výkon systému: 55kw - 900kw konfigurace s vysokou hustotou.

• Objemový průtok: 4,2 – 148,5 m³/min čistý proud.

• Klasifikace obsahu oleje: Certifikace ISO 8573-1 třídy 0 zcela bez oleje.

• Uspořádání chlazení: Kapalinové chlazení z nerezové oceli zabraňující úniku chemických látek.

Výkonnostní referenční podmínky pro jednotku byly měřeny podle přílohy C, 4. vydání (2009) normy ISO 1217:

· Relativní vlhkost: 0%

· Absolutní vstupní tlak: 1 bar

· Vstupní teplota: 20°C Rychlost vypouštění (FAD) byla měřena při následujících provozních tlacích:

Typ konstantní rychlosti:

·  -7,5 bar typ: 7 bar

· -8,6 bar typ: 7 bar

· Typ -10 bar: 9 bar

Typ VSD:

· -8,6 bar typ: 7 bar

· -10,4 bar typ: 9 bar

· (2) Hladina váženého emisního akustického tlaku třídy A pracovní stanice (LpWSAd). Měřeno podle ISO 2151:2004 (s použitím metody snímání intenzity zvuku 150 9614/2). Nově přidaný korekční faktor je zcela nejistá hodnota (KpAd) v souladu s testovacím kódem.

· (3) Hmotnost je pouze orientační; má přednost dodaná skutečná hmotnost.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Podle normy ISO 1217, příloha C, 4. vydání (2009), jsou referenční podmínky výkonu jednotky následující:

· Relativní vlhkost: 0%

· Absolutní vstupní tlak: 1 bar

· Vstupní teplota: 20°C

Výtlak FAD se měří při následujících provozních tlacích:

Modely s konstantní rychlostí:

-7,5 bar modely: 7 bar

-8,6 bar modely: 7 bar

-10 bar modely: 9 bar

Modely VSD:

-8,6 bar modely: 7 bar

-10,4 bar modely: 9 bar

(2) Hladina váženého emisního akustického tlaku třídy A pracovní stanice (LpWSAd). Měřeno podle ISO 2151:2004 (metoda snímání intenzity zvuku ISO 9614/2). Nově přidaný korekční faktor KpAd je nejistý a vyhovuje testovacímu kódu.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Hmotnost je pouze orientační; má přednost skutečná hmotnost.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Relativní vlhkost: 0%

-Absolutní vstupní tlak: 1bar

- Vstupní teplota: 20°℃

Rychlost vypouštění (FAD) byla měřena při následujících provozních tlacích

Typ konstantní rychlosti:

-7,5 bar typ: 7 bar

-8,6 bar typ: 7 bar

-10 bar typ: 9 bar

Typ VSD:

-8,6 bar typ: 7 bar

-10,4 bar typ: 9 bar

(2) Hladina váženého emisního akustického tlaku třídy A pracovní stanice (LpWSAd).

Měřeno podle ISO 2151:2004 (s použitím 150 9614/2 (metoda skenování intenzity zvuku).

Nově přidaný korekční faktor je zcela nejistá hodnota (KpAd) v souladu s testovacím kódem.

(3) Hmotnost je pouze orientační; má přednost dodaná skutečná hmotnost.

300–750 ZR

Výkonnostní referenční podmínky pro jednotku byly měřeny podle přílohy C, 4. vydání (2009) normy ISO 1217:

· Relativní vlhkost: 0%

· Absolutní vstupní tlak: 1 bar

· Vstupní teplota: 20°C Rychlost vypouštění (FAD) byla měřena při následujících provozních tlacích:

Typ konstantní rychlosti:

·  -7,5 bar typ: 7 bar

· -8,6 bar typ: 7 bar

· Typ -10 bar: 9 bar

Typ VSD:

· -8,6 bar typ: 7 bar

· -10,4 bar typ: 9 bar

· (2) Hladina váženého emisního akustického tlaku třídy A pracovní stanice (LpWSAd). Měřeno podle ISO 2151:2004 (s použitím metody snímání intenzity zvuku 150 9614/2). Nově přidaný korekční faktor je zcela nejistá hodnota (KpAd) v souladu s testovacím kódem.

· (3) Hmotnost je pouze orientační; má přednost dodaná skutečná hmotnost.

ZR 200X-400X

Výkonnostní referenční podmínky pro jednotku byly měřeny podle přílohy C, 4. vydání (2009) normy ISO 1217:

· Relativní vlhkost: 0%

· Absolutní vstupní tlak: 1 bar

· Vstupní teplota: 20°C Rychlost vypouštění (FAD) byla měřena při následujících provozních tlacích:

Typ konstantní rychlosti:

·  -7,5 bar typ: 7 bar

· -8,6 bar typ: 7 bar

· Typ -10 bar: 9 bar

Typ VSD:

· -8,6 bar typ: 7 bar

· -10,4 bar typ: 9 bar

· (2) Hladina váženého emisního akustického tlaku třídy A pracovní stanice (LpWSAd). Měřeno podle ISO 2151:2004 (s použitím metody snímání intenzity zvuku 150 9614/2). Nově přidaný korekční faktor je zcela nejistá hodnota (KpAd) v souladu s testovacím kódem.

· (3) Hmotnost je pouze orientační; má přednost dodaná skutečná hmotnost.

Uživatelská případová studie laboratoře pro čisté prostory

Výrobce elektroniky v Asii instaloval specializovaný vzduchový systém DECHUAN pro dodávku smyček na výrobu vysoce čistého dusíku a pneumatických testovacích ramen. Dříve standardní kompresory umožňovaly migraci stopových olejových par kolem inline filtrů, potahování litografických čoček a způsobujících mikrofraktury v povlakech plátků. Po instalaci bezolejového vzduchového kompresoru pro polovodičové laboratoře laboratoř hlásila nulové případy kontaminace potrubí související s olejem, což ušetřilo značné náklady na čištění a rekalibraci čistých prostor během dvou let nepřetržitého provozu.

Přizpůsobení a ovládání součástí na zakázku

• Upgrade materiálu z nerezové oceli: Všechny standardní vnitřní lité součásti nahrazujeme vysoce kvalitní nerezovou ocelí, abychom splnili přísné směrnice pro mikrokontaminaci.

• Pokročilé komunikační protokoly: Jednotka je předem nainstalovaná se specializovanými komunikačními protokoly, které umožňují řídicím střediskům čistých prostor vzdáleně monitorovat metriky vzduchu.

• Kompaktní strukturální půdorys: Vnitřní uspořádání je optimalizováno tak, aby minimalizovalo půdorys, což usnadňuje instalaci v těsných laboratorních sklepních užitkových prostorech.

Časté dotazy pro průmyslového kupujícího

Otázka: Můžeme tento kompresor připojit přímo k filtračním smyčkám ultra-high-purity (UHP)?

Odpověď: Ano, náš vzduchový výstup je plně kompatibilní s pokročilými vysoušeči sušičky pro čisté prostory a systémy filtrace submikronových částic. Protože surový vzduch neobsahuje žádné olejové páry, vaše specializované filtry v místě použití se nezanesou olejovou mlhou, čímž se prodlouží životnost filtru.

Otázka: Jak těsnění typu Z zajišťují nulovou migraci oleje z převodovky?

Odpověď: Bezolejový vzduchový kompresor pro Semiconductor Labs je vybaven fyzickým atmosférickým větracím prostorem mezi olejem mazanou skříní převodovky a suchou kompresní komorou. Specializovaná bezdotyková uhlíková kroužková těsnění jsou spárována s podtlakovými kanály, což zajišťuje, že jakákoli mlha převodového oleje je zcela blokována pronikání do proudu čistého vzduchu.

Otázka: Co se stane, když vnitřní teplotní senzor detekuje abnormální hodnotu?

Odpověď: Řídicí jednotka Elektronikon® vzorkuje důležitá data několikrát za sekundu. Pokud je v jakékoli fázi detekován teplotní skok, systém okamžitě spustí automatické vypnutí a uzavře izolační ventily, čímž zajistí, že nechlazený vzduch nikdy neproudí po proudu do citlivého vybavení vaší laboratoře.